大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究
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戚二辉(1989-),男,河南杞县人,博士研究 生,读博期间的研究方向为五棱镜扫描技术在大口径平面镜检测中的应用.

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国家自然科学基金(61210015)资助项目 (1.中国科学院大学,北京 100049; 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033; 3.中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033)


Optical testing of large optical flat mirror with non-circular pupil based on scanning pentaprism technology
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    摘要:

    为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的 高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的 非递归方法进行数据处理,同时编 写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果 表明,五棱镜扫描 系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5rms,对power项、astigmatism项 的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nm rms,能够完成大口径非圆形光 学平面镜低像差的高精度检测。

    Abstract:

    In order to solve the difficulty in the optical testing for larg e non-circular flat mirrors,we use a non-recursive algorithm based on the inner products of polyn omials and the cholesky decomposition methods to complete data processing for the scanning pent aprism system (SPS),and develop the corresponding testing data fitting software.Using the Mont e_Carlo technology,we analyze the feasibility for the SPS to test the thirty meter telescope (TMT) te rtiary mirror,which is an elliptical flat mirror with size of 2.5m×3.5m.The s imulation results show that the SPS could measure the low order aberrations of this mirror with root mean square(RMS) error of 30.6nm,especially the power RMS of 9.6nm and astigmatism of 13.7nm,which proves the suitability of S PS in testing low order aberrations of large non-circular pupil optical flat mirrors

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

戚二辉,罗霄,郑立功,张学军.大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究[J].光电子激光,2014,(7):1370~1375

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  • 收稿日期:2014-02-17
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