摘要:Fe-IX/X (λ=17.1nm)和He-II (λ=30.4nm) 是太阳辐射的两条重要谱 线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为 了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首 先根据极紫外 波段选材原则选择了Si、B4C和Mo 3种材料,构成B4C/Si和Mo/Si叠加的两 种周期结构,优化其周 期数、膜层厚度等,计算了反射率曲线,并从理论验证了其可行性;然后利用磁控溅射镀 膜机,在Si片上镀 制了多层膜;最后用激光等离子体反射率计检测了样片的反射率,结果显示,在波长17.1nm和30.4nm处的反射率分别 达到19.9%和20.2%。通过选择不同滤光片,如 Mg、Al/Zr滤光片,可以获得17.1nm或30.4n m单一谱线的反射,实现了设计目标。