基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量
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TB383.2

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国家自然科学基金资助项目(91023022);天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC05300);质检公益性行业科研专项资助项目(201110051)


Geometric parameter measurement of thick films by white light scanning interferometry
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    摘要:

    提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫描所得信号会含有两组可分离的干涉条纹,利用Otsu方法实现双峰信号的自动分离。标准膜厚的测量实验表明,本文方法可以以nm级分辨力对符合可测条件的薄膜几何参数进行有效提取。

    Abstract:

    A new algorithm based on the combination of white light interferometry and image segmentation technology for measuring the thick transparent films is presented in this paper.The new algorithm can derive the surface topographies of the upper and the lower surfaces,as well as the thickness of the thick film simultaneously.The system integrates Mirau objectives controlled by a high precision piezoelectric transducer to perform the vertical scanning.When the film is thick enough,the extracted interf...

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

郭彤,王瑞杰,马龙,陈津平,傅星,胡小唐.基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量[J].光电子激光,2011,(9):1380~1383

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