SoI基微环谐振可调谐滤波器
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TN713

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国家“863”计划资助项目(2007AA03Z420);国家自然科学基金资助项目(60977045)


Tunable filter based on silicon-on-insulator microring resonator
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    摘要:

    采用电子束光刻和ICP刻蚀等工艺制作出绝缘体上Si(SoI)基纳米线波导微环谐振(MRR)滤波器,波导截面尺寸为300 nm×320 nm,微环半径为5μm。测试结果表明,器件的自由频谱宽度(FSR)为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比(ER)为18.1 dB。通过对MRR滤波器进行热光调制,在21.4~60.0℃温度范围内实现了4.8 nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12 nm/℃。

    Abstract:

    Microring-resonator filters are fabricated by E-beam photolithography and inductive-coupled-plasma(ICP) etching technology.The cross-section size of the strip waveguides is 300 nm×320 nm,and the bending radius of the microring is 5 μm.The measured results show that the free spectral range(FSR) and extinction ratio(ER) at the wavelength of 1 550 nm are 16.8 nm and 18.1 dB,respectively.After thermo-optic modulation,the tunable filter wavelength range reaches 4.8 nm,and the tuning efficiency is 0.1...

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    引证文献
引用本文

姜宏伟,吴远大. SoI基微环谐振可调谐滤波器[J].光电子激光,2011,(6):813~815

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