台面型InGaAs探测器暗电流及低频噪声研究
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TN215

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国家自然科学基金重点资助项目(50632060); 中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿资助项目(C2-32)


Investigation on dark current and low frequency noise of mesa type InGaAs infrared detector
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    制备了一系列不同面积的台面型InGaAs红外探测器,通过周长面积比(P/A)的变化分析了器件的暗电流机制及低频噪声性能。结果表明,在现有的材料和工艺水平下,台面边缘和体内的产生复合电流都在总暗电流中占了较大部分。对测试结构器件的低频噪声测量表明,在反偏下,器件表现出明显的1/f噪声;由于边缘产生复合电流对小尺寸器件的影响大,其产生的噪声使得器件总噪声变大。这些结果表明,以后的工艺改进应注重减少边缘电流和体内产生复合电流。

    Abstract:

    We fabricate a series of mesa type InGaAs infrared detectors with different areas.We use perimeter-to-area analysis to investigate the dark current mechanism and low frequency noise characteristic of these detectors.In these detectors the generation-recombination(g-r) currents that are related to mesa edge and the bulk dominate the total dark current.The results of the noise measurement show that,at low frequencies the detectors are 1/f noise dominated.The total noise becomes larger with the increasing edge...

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李淘.台面型InGaAs探测器暗电流及低频噪声研究[J].光电子激光,2010,(4):

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