绝对编码光栅的相位细分
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TP391.41

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Phase subdivision of absolute coding grating
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    针对位移精密测量中提高绝对编码光栅的分辨率,提出一种绝对编码的相位细分方法。由自然码或格雷码的多码道光栅组成编码光栅,其基元码道是高频率的罗奇光栅,解码采用傅里叶变换相位计算方法,通过傅里叶变换、空间频域滤波和逆傅里叶变换得到基元码道的相位分布,利用格雷码的级次信息得到展开的相位分布。利用相位分布的线性性质进行线性拟合,实现高分辨率的相位细分。分析了实验原理并进行了提高分辨率的相位细分实验研究,实验结果表明,采用相位细分的方法,经过标定后可大大提高绝对编码光栅的分辨率和测量精度。

    Abstract:

    A phase subdivision of absolute coding is proposed to enhance the resolution of absolute coding grating in displacement measurement.The used grating consists of multiple code-channel grating of Gray Code,and the basic code-channel is high-frequentcy Roche grating.Fourier transform method is adopted in decoding,and the wrapped phase distribution of basic code-channel is obtained by Fourier transform,filtering,and inverse Fourier transform,then the unwrapped phase distribution could be obtained using rank inf...

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赵勇.绝对编码光栅的相位细分[J].光电子激光,2010,(1):91~95

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