平面型InGaAs红外探测器I-V特性研究
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TN215

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国家自然科学基金重点资助项目(50632060); 中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿资助项目(C2-32,C2-50)


Current-voltage characteristics of planar-type InGaAs infrared detectors
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    摘要:

    采用闭管扩散方式,利用SiO2及Si3N4扩散掩膜在NIN型InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料上制备了两种不同的平面型InGaAs红外探测器,研究了室温下不同扩散区面积的两种器件的正向I-V特性及反向暗电流密度与器件周长面积比的关系,结果表明,扩散区边缘的钝化是平面型InGaAs探测器的制备过程中非常重要的一环,而且Si3N4薄膜的钝化效果优于SiO2薄膜。室温下和-0.1V偏压下,采用Si3N4扩散掩膜的器件的暗电流密度约为20nA/cm2。

    Abstract:

    The planar-type InGaAs infrared detectors are fabricated on the NIN-type InP/In0.53Ga0.47As/InP wafers by using the sealed-ampoule method with SiO2 and Si3N4 respectively as the diffusion masks.The forward current-voltage characteristics at room temperature for the detectors with different diffusion area and the relationship of the reverse dark current density versus perimeter-to-area ratio characteristics of the two-type InGaAs detectors are analyzed.It is indicated that the passivation for the edge of the...

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引用本文

李永富.平面型InGaAs红外探测器I-V特性研究[J].光电子激光,2009,(12):1580~1583

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