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LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成
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[cstr]
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国家自然科学基金，科技部重大基础研究项目前期研究专项基金，教育部高等学校博士学科点专项科研基金


Agglutinating integration between LPE-GaAs microtip and VCSEL
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    介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征.结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤.这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值.

    Abstract:

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引用本文

田怡春,胡礼中,梁秀萍,张红治,潘石. LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成[J].光电子激光,2008,(9):

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