VHF-PECVD法制备P型微晶硅锗的研究
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国家重点基础研究发展计划"973"资助项目 , 国家自然科学基金重点资助项目 , 教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
Study of P-μc-Si1-xGex:H thin film prepared by VHF-PECVD
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引用本文
尚泽仁,张建军,张丽萍,胡增鑫,孙建,薛俊明,赵颖,耿新华. VHF-PECVD法制备P型微晶硅锗的研究[J].光电子激光,2008,(8):
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