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两步合金法制作p-GaN高反电极
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Ohmic contacts of high reflective poles on p-GaN using two-step anneal method
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    利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极.电极的构成采用透明电极 高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助于Ag基电极反射率的提高.可靠性测试表明Ag基电极的稳定性较好,对于Al基电极,热处理后反射镜上出现暗斑,导致其反射率的下降.最终获得了波长在460nm处反射率为74%的Ag基高反射电极.

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引用本文

郭德博,梁萌,范曼宁,刘志强,王良臣,王国宏.两步合金法制作p-GaN高反电极[J].光电子激光,2008,(7):

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