射频磁控溅射生长C轴择优取向AIN压电薄膜
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中图分类号:
O484.1
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国家自然科学基金 , 天津市自然科学基金 , 天津市教委资助项目
Preparation of c-Axis Oriented Piezoeletric AlN Thin Films by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method
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引用本文
杨保和,徐娜,陈希明,薛玉明,李化鹏.射频磁控溅射生长C轴择优取向AIN压电薄膜[J].光电子激光,2007,(12):1430~1434
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- 最后修改日期:2007-05-10
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