介绍了自适应光学系统中的一种全新的基于Pb（ZrxTi1-xO3）（PZT）薄膜的微反射镜阵列。通过控制PZT薄膜两端电压实现微镜单元的微量形变，改变反射镜局部面形，校正畸变波面的波差，改善成像质量。该方案在重掺杂Si片基底上依次制备PbTiO3（PT）、PZT，最后镀Al作为反射面，形成Si／Pr／PZT／Al的膜层结构。对制备完全的试片在数字波面干涉仪上进行了形变测试，尽管受到了薄膜热形变作用的影响，仍实现了约1．2μm的可控形变，证明该方案用做自适应变形反射镜的可行性。