提出了一种掩膜投影的激光诱导液相腐蚀方法，采用波长0．53μm的倍频Nd：YAG连续激光器、镀Cr掩膜板、H2SO4和H2O2混合溶液，在GaAs基片上制作腐蚀孔。通过对腐蚀原理的分析，对影响加工精度的溶液配比和激光功率密度进行了实验研究，得出了H2SO4：H2O2：H2O=4：1：20、激光功率密度11．7W／cm^2的最佳实验组合，并在此条件下得到了直径为30μm的高质量腐蚀孔。通过对腐蚀孔的横向与底面形状的分析，从改进实验装置和进行激光束空间整形2方面提出了改进的方法．对提高掩膜投影法的加工精度具有重要意义。