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基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析
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TN929.11

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广东省广州市科技攻关项目


Design and Performance Analysis of a Variable Optical Attenuator Based on Driven Micro-electromechanical System
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    研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统（MEMS）可调光衰减器（VOA）。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器，它具有良好的光学性能，克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0～8V，工作范围是0～25dB。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果。

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引用本文

魏会敏,罗风光,曹明翠,胡巧燕.基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析[J].光电子激光,2006,(6):685~687

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  • 收稿日期:2005-07-23
  • 最后修改日期:2006-02-21
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