TN253
研制了一种用于旋转轴线位置测量的高分辨率反射型强度调制(RIM)光纤传感器。在旋转部件端面刻划漫反射图谱,利用该图谱对反射光的强度调制,来获取旋转轴线位置偏移的大小和方向。该传感器制作工艺简单,分辨率可以达到0.1μm,灵敏度可以达到100.7mV/μm,在测量范围内具有良好的线性,而且通过调整传感器与反射面间的距离,可以实现对测量范围和灵敏度的调整。给出了旋转轴线位置偏移与反射光强度调制的关系表达式,并利用所建立了实验系统对该传感器的性能进行了分析。
褚渊,徐峰,陈书剑,丁天怀.一种测量旋转轴线位置的高分辨率光纤传感器[J].光电子激光,2006,(3):306~310