带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器
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TN304

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福建省青年科技人才创新基金


Resonant Cavity-enhanced Si Photodetectors with Distributed Bragg Reflector
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    摘要:

    采用电子束蒸发和键合技术,制作了具有高反射率的、表面为薄层单晶Si的分布Bragg反射器。用标准光刻工艺在单晶Si薄层上制作出窄带谐振腔增强型(RCE)金属一半导体一金属(MSM)光电探测器,响应峰值波长分别在836、900、965和1030nm处,其中在900nm处峰值半高宽为18nm。该器件具有波长选择特性,可有效抑制相邻频道间的串扰,而且容易制成集成面阵。

    Abstract:

    Si distributed Bragg reflector with crystal Si thin film on the reflector was fabricated by electron beam evaporation and bonding techniques.Narrow band Si resonant-cavity-enhanced(RCE) metal-semiconductor-metal(MSM) photodetectors were fabricated by standard photolithography with responsivity peaks at 836 nm,900 nm,965 nm and 1 030 nm respectively.The full-width-at-half-maximum was about 18 nm at 900 nm.The wavelength selectivity of the device could eliminate crosstalk between channels,and the integrated array could be easily realized.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李成,赖虹凯,陈松岩,王启明.带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器[J].光电子激光,2006,(1):62~64

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  • 收稿日期:2005-05-15
  • 最后修改日期:2005-09-12
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