分析了热敏电阻单放大器带增益线性化补偿方法,对其线性化误差模型进行了理论与实验研究,进而提出了温度设定值反误差修正的半导体激光器(LD)温度控制系统。该系统无需添加附加的硬件装置,采用软件的方法改变温度的D/A设定值,以此达到温度线性化误差反校正的目的,从而实现了LD的高精度温度控制。实验研究表明,该系统的温度控制精度≤0.004℃,5h温度稳定度<0.003℃。