采用绝缘体上Si(SOI)材料制作了马赫-曾德干涉型(MZI)SOI热光可变光学衰减器(VOA)，利用隔热槽有效降低器件的功率消耗，提高响应速度。在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB。与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比，器件插入损耗和调制深度不受影响。最大衰减(29dB)时功率消耗由360mW降低为130mW，器件响应速度提高1倍，响应时间由大于100μs降为小于50μs。