TN248 TN215
国家"847"计划资助项目(2001AA312290)
报道了一种具有高速响应特性的GaAs基长波长谐振强增强型(RCE)光探测器,它采用分子束外延技术(MBE)在GaAs衬底上直接生长GaAs/AlAs布拉格反射镜(DBR)和GaInNAs/GaAs多量子阱吸收层而形成,解决了GaAs系材料只能对短波长光响应的问题,实现了GaAs基探测器对长波长光的响应。该器件在峰值响应波长1296.5nm处获得了17.4%的量子效率,响应谱线半宽为11nm,零偏置时的暗电流密度8.74×10-15A/μm2,具有良好的暗电流特性。通过RC常数测量计算得到器件的3dB带宽为4.82GHz。
周震,杨晓红,韩勤,杜云,彭红玲,吴荣汉,黄永清,任晓敏. GaAs/GaInNAs多量子阱谐振腔增强型长波长光探测器[J].光电子激光,2005,(2):159~163