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Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器制作技术
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    比较了制作LiNbO3脊形波导的两种制作工艺-DE工艺和ED工艺,并介绍了一种新型自对准技术.在未来应用的集成光学器件制作中,这种自对准制作技术具有很大的应用潜力.

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张瑞君. Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器制作技术[J].光电子激光,2004,(Z1):188~189

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