平面光波回路用均匀折射率厚SiO2膜制备技术研究
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国家重点基础研究发展规划(G2000036602)、国家高技术研究发展计划(2002AA312260)和国家自然科学基金资助项目(69889701)资助项目
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引用本文
李健 安俊明 郜定山 夏君磊 李建光 王红杰 胡雄伟.平面光波回路用均匀折射率厚SiO2膜制备技术研究[J].光电子激光,2004,(Z1):186~187
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