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马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析
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[cstr]
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TN256 TN929.11

基金项目:

国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA312261)，国家自然科学基金资助项目(69889701)，国家重点基础研究发展规划资助项目(20000366202)


Tolerance Analyses of the Mach-Zehnder Interferometric Demutiplexer
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    通过耦合模理论分析了马赫-曾德干涉(MZI)型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影响，比较了各结构参数的工艺容差性。结果表明，如果串扰要求在-30 dB以下，则波导臂长差的容差性为1％，耦合长度的容差性为2％，波导宽度的容差性较好；容差达到0．6μm时，串扰仍然在-58dB；波导间距对工艺精度要求最高，要求误差小于0．03μm。

    Abstract:

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引用本文

夏君磊 郜定山 安俊明 李健 吴远大 胡雄伟.马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析[J].光电子激光,2004,(6):645~648

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