利用脉冲激光沉积(PLD)技术在O2氛围下于α-Al2O3(0001)基片上制备出纳米类金刚石薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化情况。结果表明：随着衬底温度的升高，薄膜颗粒尺寸减少；在衬底温度为550℃时，所制备的薄膜均匀、光滑，且大约是由14nm大小的颗粒组成。对薄膜的生长机理作出了分析。