首页 > 过刊浏览>2004年第卷第1期 >25-28
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SIMOX大截面单模脊型光波导的研制
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[cstr]
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TN814.6 TN256

基金项目:

国家863计划资助项目(2001AA312070)


Fabrication of SIMOX Single-mode Rib Waveguides with Large Cross-section
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    以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon—on-insulator)为衬底，利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料，进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1．55μm的光，其传输损耗小于0．6dB／cm。

    Abstract:

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引用本文

林志浪 程新利 王永进 张峰. SIMOX大截面单模脊型光波导的研制[J].光电子激光,2004,(1):25~28

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