金刚石膜压力传感器的优化设计(I)
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TP212.1

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国家“86 3”计划资助项目 (86 3 71 5 0 0 2 0 0 6 0 ),国家教育部重点基金资助项目 (0 0 1 3 4),天津自然科学基金重点资助项目 (0 0 3 80 0 2 1 1 )


Optimizing Design of Diamond Film Pressure Sensors
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    摘要:

    探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明,按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性。

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引用本文

杨保和 孙伟 孙以才 李燕 常明.金刚石膜压力传感器的优化设计(I)[J].光电子激光,2003,(5):441~444

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  • 最后修改日期:2002-07-15
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