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微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计
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[cstr]
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TH74

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天津市"131"人才工程第一层次人选资助项目，天津市自然科学基金资助项目(023602411)


Optimized Design of Mirau Interference Objective in Microsurface Topography Measurement
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    提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求。物镜为长工作距物镜,由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成。设计了5种不同透射/反射率的分束板,平衡了干涉光强。Mirau干涉物镜的NA=0.3,β=-10,工作距5mm,横向分辨率Δx≥0.887μm,景深Δ=±2.956μm。

    Abstract:

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引用本文

张红霞,张以谟,井文才,周革,李朝辉.微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计[J].光电子激光,2003,(12):1292~1295

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  • 最后修改日期:2003-04-23
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