自聚焦共焦式微型探测系统的研究
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TH74

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国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 75 0 2 0 )


Micro Detection System with nm Resolution Using Self-focal Confocal Microscope
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    为解决微小内轮廊为代表的微小尺寸的非接触测量问题,本文提出了将自聚焦透镜体积小与共焦显微技术的纵向层析特性有机结合的自聚焦共焦微型显微技术的光聚焦探测系统。介绍了系统的工作原理和结构装置,对系统中的关键技术进行了优化设计,通过对自聚焦透镜、针孔,光源及探测器系统的设计,可以有效地实现高精度微型光聚焦探测,初步实验结果表明,系统的轴向分辨率可达10nm。

    Abstract:

    For small dimension non contact measurement,especially small internal curved surface measurement,an optical focus detection system based on a confocal microscope combination with a gradient index len is presented.This paper describes the measurement principle and structure,and optimizes the key technique in the system.By the design of a gradient index lens,pinhole,light source and detector,high precision and small optical focus detection can be realized.The feasibility of the differential confocal system is experimentally verified and the axial resolution is up to 10 nm.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

张杰 谭久彬 等.自聚焦共焦式微型探测系统的研究[J].光电子激光,2002,(4):374~377

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  • 最后修改日期:2001-09-24
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