PSTM用于Al2O3光波导薄膜的研究
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TN16 TN304.055

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国家自然科学基金资助项目(39670208)


Study on Al2O3 Wave-guide Film with PSTM
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    利用光子扫描隧道显微镜(PSTM)检测研究Al2O3光波导薄膜及其制备工艺,分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的Al2O3光波导薄膜PSTM图像,结果表明,适当的增加基片的温度可以减少散射损耗 ,改善Al2O3光波导薄膜的性能。

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引用本文

潘石 王继松 等. PSTM用于Al2O3光波导薄膜的研究[J].光电子激光,2001,(4):351~353

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  • 最后修改日期:2000-09-13
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