TN16 TN304.055
国家自然科学基金资助项目(39670208)
利用光子扫描隧道显微镜(PSTM)检测研究Al2O3光波导薄膜及其制备工艺,分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的Al2O3光波导薄膜PSTM图像,结果表明,适当的增加基片的温度可以减少散射损耗 ,改善Al2O3光波导薄膜的性能。
潘石 王继松 等. PSTM用于Al2O3光波导薄膜的研究[J].光电子激光,2001,(4):351~353