首页 > 过刊浏览>2001年第卷第3期 >281-284
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基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量
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[cstr]
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TN247

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The Measurement of Transparence Surface Microtopography Based on Phase-approaching of Projected Grating
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    投影栅线相位法通常用于宏观三维形貌的测量，本文提出将其应用于透明体微观形貌领域的测量，从而拓展了测量方法的测量领域，实际测量了准分子激光近视治疗仪加工的有机玻璃试样，给出了表面的微观形貌。系统的向分辨率小于1μm。根据微观形貌计算了描述表面光洁度的参数，为计算激光束能量分布及治疗仪的校准提供了依据。

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引用本文

司书春 于复生 等.基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量[J].光电子激光,2001,(3):281~284

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  • 最后修改日期:2000-06-05
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