基于多分辨分析的集成元件管脚微位移检测
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN407

基金项目:

天津市光电子联合研究中心资金资助项目


Deviation Inspecting of DIP Chip Pin Micro-shift Based on Multi-Resolution Analysis
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    由于电子集成元件的管脚朝着多且细的方向发展,管脚偏移检测要求提高,一般的检测方法不能满足这样高的精度。本文研究了采用光电自动快速检测大尺寸、多管脚集成块管脚位置微偏移的方法,提出了基于多分辨分析(MRA)的微位移的检测技术,达到亚像素的检测精度,具有良好的可靠性,解决了大型集成块管脚位置偏差自动化检测问题。

    Abstract:

    The inspection of chip pin location is a necessary step in chip aspect measurement.With the development of chip,there are more and more pins on each chip,and the width of each pin becomes narrower.It is impossible to deal with the measurement using the traditional methods.A measurement method for it based on multiple resolution analysis(MRA) calculation is proposed in this paper,that distinguish the micro shifts of the pins according to the coefficient of MRA.The method has the merit of fast speed,high precision and high reliability.The experiment result is given.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李鹏 方志良 等.基于多分辨分析的集成元件管脚微位移检测[J].光电子激光,2001,(11):1147~1151

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2001-03-30
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码