TN215
本文报导了用两种缓冲层生长技术研制的Si1-xGex/Si异质结pin型红外探测器。其波长范围为0.70~1.55μm,峰值波长为0.96~1.06μm,暗电流密度低达0.03μA/mm^2(-2V),在1.3μm处的响应度高达0.15A/W(-5V);讨论了Ge组分、外延层厚度、偏置电压等对探测器参数的影响。
江若琏 罗志云. Si1-XGeX/Si红外光电探测器[J].光电子激光,2000,(1):17~19