TQ317.3 TQ320.721
国家自然科学基金
本文介绍了用准波导耦合m线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明,薄膜样品厚度的误差为3.62×10^-2μm。并对测量精度作了分析和讨论。
任诠 王志刚.测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法[J].光电子激光,1998,(1):35~36