测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法
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TQ317.3 TQ320.721

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国家自然科学基金


Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film
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    本文介绍了用准波导耦合m线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明,薄膜样品厚度的误差为3.62×10^-2μm。并对测量精度作了分析和讨论。

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引用本文

任诠 王志刚.测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法[J].光电子激光,1998,(1):35~36

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