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微透镜和高Tc超导红外探测器组件
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TN215.03 TN15

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    本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。

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引用本文

张新宇 易新建.微透镜和高Tc超导红外探测器组件[J].光电子激光,1998,(1):21~22

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