由于科学技术的发展,许多研究领域都对短波长的紫外波段发生了极大的兴趣,如短波长的准分子激光,YAG三倍频激光器等的工作波长都在4000埃以下;大规模集成电路用的光刻机目前也有许多是工作在3500～4500埃波段,这类紫外激光器件及光刻机的研究工作必然要对紫外波段的光学薄膜提出相应的要求,不但需要高质量的紫外高
王秀芬,张虹.紫外3500埃～4500埃增透膜[J].光电子激光,1990,(2):
