| 高斐,赵江山,王倩,刘广义,白路军,周翊,孟庆宾.光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究[J].光电子激光,2016,27(7):699~703 |
| 光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究 |
| Center wavelength measurement in photolithographic excimer laser |
| 投稿时间：2016-01-12 |
| DOI： |
| 中文关键词: 准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量 |
| 英文关键词:excimer laser photolithography center wavelength on-line measurement |
| 基金项目:国家自然科学基金(61405202)和中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目 (1.中国科学院光电研究院,北京 100094； 2．北京市准分子激光工程技术研究中心,北京 100094; 3.中国科学院大学,北京 100049) |
| 作者 | 单位 | | 高斐 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094
中国科学院大学,北京 100049 | | 赵江山 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 | | 王倩 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 | | 刘广义 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 | | 白路军 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 | | 周翊 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 | | 孟庆宾 | 中国科学院 光电研究院,北京 100094
北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094
中国科学院大学,北京 100049 |
|
| 摘要点击次数: 962 |
| 全文下载次数: 0 |
| 中文摘要: |
| 实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测 量方法。基于法布里珀罗(F-P)标准具与中阶梯光栅的相关测量 装置,通过对 F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在 线有效测量。整 个测量装置体积小、成本低,在500～3000Hz 高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1pm,取 得了较好的实验结果。 |
| 英文摘要: |
| This paper introduces a method of on-line measuring center wavelength in photolghographic excimer laser using echelle and Fabry-Perot (F- P) etalon which have small dimension and low cost(compared with traditional spectrometer),under the condition of high repetition rate of 500－3000Hz.Through the analysis of the F-P etalon interference fringes and grating diffraction line fringes,after a series of algorithms to deal with data,finally is high measuring accuracy of sub-picometer realized.The stan dard deviation of the center wavelength measurement results is lower than 0.1pm,and good experimental results are obta inedand. |
| 查看全文 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|
|
|