| 贾志浩,段俊萍,王伟,毛静,王明焕,张斌珍.流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作[J].光电子激光,2015,26(2):403~408 |
| 流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作 |
| Design and fabrication of the liquid tunable lens in microfluidic cytome ter system |
| 投稿时间：2014-08-14 |
| DOI： |
| 中文关键词: 变焦透镜 薄膜形变 聚焦测试 |
| 英文关键词:tunable lens film aberration focusing test |
| 基金项目:国家自然基金(61401405,51475438)、山西省基础研究(2014011021-4)和新世纪优秀 人才支持计划(130951862)资助项目 (中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051) |
| 作者 | 单位 | | 贾志浩 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 | | 段俊萍 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 | | 王伟 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 | | 毛静 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 | | 王明焕 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 | | 张斌珍 | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学 电子测试技术教育部重点实 验室,山西 太原 030051 |
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| 中文摘要: |
| 以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种 封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况 的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透 镜腔体结构。 在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片 ；然后将两部 分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装；最后对透镜的表面形变和焦距变化进 行了测试,根 据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到 600mT的过程中,焦距 由22.0mm变为20.2mm。 结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积, 焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。 |
| 英文摘要: |
| The liquid closed tunable lens has been designed and made based on polyd imethylsiloxane (PDMS).The appropriate structure of lens is decided accordi ng to mathematical analysis in Matlab software and structure simulation of PDMS film deformation in ANSYS software.In preparation process,f irstly,the chamber of lens is fabricated with an SU-8mold;secondly,cover-film is made by using the mi xed PDMS,and then two parts of lens are bonding together after surface treatment.After liquid injection and second ary bonding,the whole process was accomplished.Finally,surface deformation and focal distance of the lens are tes ted with a testing device,and according to the test result,the curve between focal distance and magnetic flux density is plotted.In this process,with the magnetic flux density changing from 200mT to 600mT,the focal distance ch anges from 22.0mm to 20.2mm under the electromagnetic loads.Results show that fabricating tunable lens with this method can simplify processing sequence,lower production cost,and reduce the whole structure volum e.Moreover,the finished product has controllable focal distance and great sealing property,so the surrounding w ill have minimal effect on the performance of lens,which may open new possibilities in medical service,optica l testing and other fields. |
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