| 马森,谢芳,王韵致,陈亮.基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究[J].光电子激光,2014,(9):1749~1753 |
| 基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究 |
| High precision on-line measurement of step height based on fiber dual-waveleng th interferometry |
| 投稿时间：2014-06-10 |
| DOI： |
| 中文关键词: 光纤测量 干涉测量 台阶高度测量 在线测量 |
| 英文关键词:optical fiber measurement interferometry step height measurement on -line measurement |
| 基金项目:国家自然科学基金(50975022)和北京市自然科学基金(3132033)资助项目 (北京交通大学 理学院物理系 光电检测研究所 ,北京 100044) |
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| 中文摘要: |
| 提出一种 基于双波 干涉的 台阶高度 光纤 在线 干涉 测量系统 。 利用光纤 光栅(FBG)只反射布拉格 波长 的特性 , 使两个波长同时并独立地工作于同一个 光纤 干涉测量系统 中 ,每个波长的干涉信号分别并同时被探测 , 将 测量量程扩大为半合成波波长 。利用反馈电路 补偿环境干扰 对 光纤干涉 测量系统 的影响 , 使 光纤干涉 测量 系统 适合 于在线测量 。 本 光纤干涉 测量 系统 可测量 的 最大台阶高度 达 1mm , 测量分辨率小于 1nm 。 |
| 英文摘要: |
| An optical fiber dual-wavelength interferometric sys tem,which is suitable for on- line measurement of step heights with high precision and without the need of eac h wavelength working individually in sequence to perform the measurement,is proposed. By employing the characteristic of a fiber Bragg grating of reflecting Bragg wave length,two different wavelengths are working simultaneously and independently in the same optical fiber interferometric system,and two interfero metric signals of each wavelength can be detected simultaneously and respectively.The measurement range is expa nded to half of a synthetic wavelength. The system is stabilized by a feedback loop which compensates the influence ind uced by the environmental disturbances,and thus the system is robust enough for on -line measurement.The system is capable of measuring st ep heights as large as 1mm and the measurement resolution is less than 1nm. |
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